赫尔纳供应德国enkoba夹具 型号LAM边缘enkoba夹具晶圆可以按顺序从载体中取出或插入载体 将损坏底层晶圆或被颗粒污染的风险降至夹具低 晶圆不会像传统的边缘夹具那样变形。这样可以避免损坏 借助电动夹爪,路径、力和速度可自由编程
查看详细介绍大连赫尔纳供应德国ENKOBA夹具主动负载固定的特点是工作量相对较大。为此,用于固定负载的力和/或运动。被动负载系固使用现有条件,因此主动负载系固。在该示例中,锁定凸耳通过负载搬运设备和工件之间的连接自动创建。负载处理装置设置在篮子的边缘,两个承载臂使用转动手柄推到篮子支架下方。
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