赫尔纳供应SEMCO退火炉SEMCO 集团是应用于光伏太阳能电池量产的减压加工的先驱,并拥有与该技术相关的技能。该公司几年前就开始提供当前的标准,当时高效光伏和大规模生产仍是抽象概念。通过应用公司在半导体行业制定和验证的专有原则,SEMCO 集团为当今光伏市场中电池制造商的需求铺平了道路。因此,SEMCO 集团不断创新以满足客户需求,专注于改进磷和硼发射极扩散、热 SiOx 和 AlOx 生长以及 SiNx 沉积。我们的业务部门 SEMCO Group PVE 提供具有成本效益的解决方案,可提高太阳能电池性能、优化生产线吞吐量并降低运营费用。
赫尔纳供应SEMCO退火炉厂家优势:
减压扩散间歇式管式炉,使用 POCl3 或 BCl3
应用还包括退火、氮化物、氧氮化物、多晶硅和 TEOS。
减压氧化间歇式管式炉,湿(去离子水)或干(H2)配置
用于 SiNx 和 AlOx 沉积、钝化和 PDA 的直接 PECVD 批量式管式炉
用于单面 c-Si 织构和抛光的等离子蚀刻间歇式管式炉
从晶圆到组件的垂直集成光伏生产线
对客户员工进行生产系统操作的培训
生产系统 24/7 运行所需的消耗品和备件
工艺和生产阶段的优化
维护服务,包括升级和翻新设备。
产品简介:
JETLIGHT 是 Jipelec 入门级软件控制台式快速热退火 (RTA) 系统。JETLIGHT 是一种紧凑而坚固的高速热处理系统,适用于各种材料基板和结构(钢、玻璃、c-Si 太阳能、III-V、II-VI、锗、超导体)的快速热退火 (RTA)和陶瓷),最大尺寸为 2 英寸直径。(50 毫米)。JETLIGHT 的规格和功能满足希望在多用户环境中启动 RTP 的大学和研究中心的要求。该炉配备了管状石英反应室,因此可以处理最大长度为 150 毫米的三维样品。该过程在大气压或真空下(使用或不使用气体)进行。PID 系统可在整个温度范围内提供准确且可重复的热控制。
SEMCO退火炉特征:
热壁室设计。
基板尺寸可达 50 毫米直径。和 150 毫米长。
微处理器控制的晶闸管技术
最多两 (2) 条气体引入线
大气和真空处理能力。
专用的过程控制软件。
SEMCO退火炉应用:
植入物和触点的快速热退火 (RTA)
快速热氧化 (RTO) 和氮化 (RTN)
快速热扩散 (RTD) - 例如旋涂掺杂剂
结晶、致密化和结构应力松弛
赫尔友道,融中纳德-----我们杜绝假货,我们价格低廉,我们保证品质!
诚信公告:Heilna不是该产品的代理商,只是一个贸易商。我们亲自把德国的产品以优廉价格出口到中国,并提供相关技术和服务!此公告旨在维护中国工业品市场的良好交易环境