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| 德国unitemp快速热处理和真空处理炉产品系列 |
| 点击次数：54 更新时间：2025-01-15 |
标题：德国unitemp快速热处理和真空处理炉产品系列
主要型号： RTP-100 RTP-100-EP
德国unitemp快速热处理和真空处理炉产品系列产品介绍： 德国unitemp快速热处理和真空处理炉产品系列 我们专注于RTP/RTA（快速热处理和快速热退火）工艺设备领域，并提供不同设计的各种型号。我们的工程师努力确定客户的特定需求并为您开发合适的产品。我们也很高兴在我们公司进行测试。或者您可以向我们发送带有工艺规范的样品，我们将在内部进行这些测试。 烘箱由西门子PLC过程控制器控制。这样可以存储 50 个带有温度曲线和分段的程序。可根据要求提供水冷却器、附加流量计、附加气体管线、附加热电偶等选件和附件。该设备适用于不同的应用和客户。尺寸小，方便烤箱室的装卸。 烤箱可以轻松放置在标准实验室工作台上。适用于直径达 100 mm (4") 的晶圆或基板尺寸达 100 mm x 100 mm
德国unitemp快速热处理和真空处理炉产品系列优势特点 Ø RTP-100，通过抽屉装载 Ø 快速热真空工艺炉，加热速率高达 150 K/秒 Ø 温度均匀性好 Ø 精确、受控的加热速率和高冷却速率 Ø 工艺变更时间短 Ø 舒适的燃气控制 Ø 所需空间小
德国unitemp快速热处理和真空处理炉产品系列主要应用： 德国unitemp快速热处理和真空处理炉产品系列，我们的前置式多功能桌面设备适用于以下应用：适用于各种半导体工艺的工具，新半导体工艺的实施，原型研究。
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