• 1
  • 2

产品目录Products

技术文章Article 首 页 > 技术文章 > 德国unitemp快速热处理和真空处理炉产品系列
德国unitemp快速热处理和真空处理炉产品系列
点击次数:54 更新时间:2025-01-15
 

标题德国unitemp快速热处理和真空处理炉产品系列

 

主要型号:

RTP-100

RTP-100-EP

 

德国unitemp快速热处理和真空处理炉产品系列产品介绍:

德国unitemp快速热处理和真空处理炉产品系列

我们专注于RTP/RTA(快速热处理和快速热退火)工艺设备领域,并提供不同设计的各种型号。我们的工程师努力确定客户的特定需求并为您开发合适的产品。我们也很高兴在我们公司进行测试。或者您可以向我们发送带有工艺规范的样品,我们将在内部进行这些测试。

烘箱由西门子PLC过程控制器控制。这样可以存储 50 个带有温度曲线和分段的程序。可根据要求提供水冷却器、附加流量计、附加气体管线、附加热电偶等选件和附件。该设备适用于不同的应用和客户。尺寸小,方便烤箱室的装卸。

烤箱可以轻松放置在标准实验室工作台上。适用于直径达 100 mm (4") 的晶圆或基板尺寸达 100 mm x 100 mm

 

德国unitemp快速热处理和真空处理炉产品系列优势特点

Ø RTP-100,通过抽屉装载

Ø 快速热真空工艺炉,加热速率高达 150 K/秒

Ø 温度均匀性好

Ø 精确、受控的加热速率和高冷却速率

Ø 工艺变更时间短

Ø 舒适的燃气控制

Ø 所需空间小

 

德国unitemp快速热处理和真空处理炉产品系列主要应用:

德国unitemp快速热处理和真空处理炉产品系列,我们的前置式多功能桌面设备适用于以下应用:适用于各种半导体工艺的工具,新半导体工艺的实施,原型研究。

 


 
联系方式
  • 86-411-87187730

    18804209403

在线客服