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| 德国inficon热电离真空计BAG552 |
| 点击次数：33 更新时间：2024-11-19 |
德国inficon热电离真空计BAG552
对于需要独立热离子计技术的应用，Trigon™ 系列包括单一技术 Bayard-Alpert 热离子计 BAG552。 BAG552 设计用于压力范围为 5 × 10 -10 ... 2 x 10 -2 mbar 的气体真空测量。支持的双灯丝提供BAG552的精度、可重复性和使用寿命。BAG552 还可与 INFICON 真空计控制器系列VGC501、VGC502、VGC503结合使用。 inficon热电离真空计BAG552优点 ² üPure Bayard-Alpert 测量系统适用于较宽的 UHV 和 HV 测量范围 ² ü2 条用于 Bayard-Alpert 系统的灯丝 ² ü电隔离电子器件以避免杂散电流 ² ü滑动排放模式可避免切换排放流时压力跳跃和冻结 ² ü由于可拆卸校准数据芯片，可烘烤性更长 ² ü设定点继电器 ² ü明亮、大尺寸 OLED 显示屏（可 90° 旋转），带用户界面 ² ü模拟输出、RS232C串行接口、EtherCAT® ² ü可与 VGC50x 控制器系列结合使用 ² üRoHS 合规性 inficon热电离真空计BAG552典型应用 ü ·半导体工艺中的压力测量 ü ·工业涂料 ü ·高真空至BAG552真空范围系统的一般真空测量和控制 inficon热电离真空计BAG552规格 测量范围（空气、O 2、CO、N 2）: 5 × 10 -10 … 2 × 10 -2毫巴 准确性: 1 × 10 -8 … 2 × 10 -2毫巴: ±15 读数 重复性: 读数的 5%，10 -8 … 2 × 10 -2 mbar（稳定 10 分钟后） 暴露于真空的材料: 不锈钢、NiFe、镀镍、哈氏合金、玻璃、铱、氧化钇 (Y2O3)、Ni、钨
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18804209403
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