inficon高温压力计CDG160D功能简介 |
点击次数:362 更新时间:2024-07-01 |
德国inficon高温压力计CDG160D
inficon高温压力计CDG160D功能简介: INFICOSKY CDG160D 高温压力计是实现精确总压测量与控制的理想之选。CDG160D 真空计温度控制在 160 °C,具有性能,适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 1 Torr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用,带有所有常用类型的法兰和现场总线接口,能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的对数压力信号。INFICO电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜,具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICOCDG 压力传感器品质,成本效益,适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。 ² 拥有成本更低,预热速度快 50%,节能,低功耗 ² 易于集成,各种满刻度、法兰和接口,标配两个设定点 ² 轻松一键归零或远程信号归零指令,可调零点偏移 ² 诊断端口便于快速服务与维护 ² 两年保修服务、加热概念和真空计保护延长了使用寿命 ² 卓信号稳定性和可重复性,即使是最严苛的等离子应用,都无需长期执行重新校准 ² 合规和标准:CE、EN、UL、SEMI、RoHS ü ECT、CTD、PVD和其他半导体生产工艺 ü 化学和腐蚀性高温过程 ü 一般薄膜和真空工艺,需要仪表保护 Ø 准确性阅读%:0.4 Ø 精度%:0.003 Ø 输出信号(模拟)V (dc):0.. +10 Ø 响应时间:30ms Ø 暴露于真空的材料:Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ) |