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| inficon热电离真空计 ATM 至超高真空双规 BPG552 |
| 点击次数：793 更新时间：2024-03-19 |
inficon热电离真空计 ATM 至超高真空双规 BPG552
inficon热电离真空计BPG552技术特点： 对于需要测量范围从 UHV (5 x10 -10 ) 到 ATM (1000 mbar) 的应用，Trigon™ 系列包括双技术 BPG552 仪表。BPG552 由 Bayard-Alpert 热电离传感器元件和经典、坚固且可靠的 Pirani 传感器元件组成。支持的 Bayard-Alpert 双灯丝提供的精度、可重复性和使用寿命。 inficon热电离真空计BPG552优点 ü 双量规（2 个传感元件）可实现宽测量范围、降低成本并节省空间 ü Bayard-Alpert 系统的 2 根灯丝 ü 皮拉尼联锁保护以避免灯丝过早烧毁 ü 自动高真空皮拉尼调节减少了操作员干预 ü 电隔离电子器件以避免杂散电流 ü 滑动排放模式可避免切换排放流时压力跳跃和冻结 ü 由于可拆卸校准数据芯片，可烘烤性更长 ü 设定点继电器 ü 明亮、大尺寸 OLED 显示屏（可 90° 旋转），带用户界面 ü 模拟输出、RS232C串行接口、EtherCAT® ü 可与 VGC50x 控制器系列结合使用 ü 向后兼容 BPG402 ü RoHS 合规性 inficon热电离真空计BPG552典型应用 · 半导体工艺中的压力测量 · 工业涂料 · 低至真空范围系统的一般真空测量和控制 inficon热电离真空计BPG552规格 测量范围（空气、O 2、CO、N 2） 5×10 -10 … 1000 毫巴 准确性 1×10 -8 … 1×10 -2毫巴 ±15 读数 1 x 10 -2毫巴 … 1000 毫巴 读数的±30% 重复性：读数的 5%，10 -8 … 10 -2 mbar（稳定 10 分钟后） 暴露于真空的材料 不锈钢、NiFe、镀镍、哈氏合金、玻璃、铱、氧化钇 (Y2O3)、Ni、钨 inficon热电离真空计BPG552备件零件号 描述 354-420 BPG552 备用传感器头，KF25 354-421 BPG552 备用传感器头，CF40 |
18804209403
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