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HNPM高性能泵在晶圆键合涂层设备的应用案
点击次数:2047 更新时间:2022-08-15
 

德国HNP Mikrosysteme(下文简称为“HNPM)公司专注研发,制造和销售微型齿轮微量泵。该泵能快速、精准输送填充微量液体,并成熟应用与生命科学和分析仪器领域、机械和微型工程、化学和制药工艺工程等领域。HNPM公司还提供开发配料系统的客户定制服务。

HNPM环形齿轮泵主要产品:

HNPM高性能HNPM低压泵、HNPM惰性密封泵、HNPM模块泵、HNPM磁性密封齿轮泵5大系列。

HNPM高性能泵mzr-7205在晶圆键合涂层设备的应用案例:

SUSS MicroTec集团ACS200 GEN3自动涂布机既包含大量的创新设计,又结合了GammaACS200Plus平台的最佳优点。最多能够配备4个涂胶显影模块和19个冷热板,非常适合大规模生产。该平台具有的模块配置灵活性,其技术不仅可以满足先进封装、MEMSLED等应用要求,同时也适合研发和大规模生产的需求。在这个平台上使用HNPM高性能泵mzr-7205,实现了高精度、低脉动、低体积剂量,介质是丙酮与光刻胶。

SUSS选用HNPM高性能泵mzr-7205的要求:

☛低脉动、可重复的体积流量。

☛体积流量与线速度的动态适应性。

☛紧凑型计量泵

☛集成微控制器

☛控制系统的简单集成

HNPM高性能泵mzr-7205特点:

HNPM高性能泵mzr-7205的流量范围为0.048-288 ml/minHNPM高性能泵mzr-7205的主要特点高精度、低脉动、低体积剂量(即使是非润滑液体)或高压、紧凑设计和集成微控制器。HNPM高性能泵mzr-7205允许在较宽的粘度范围内给药,并显示出较小的经济尺寸。HNPM高性能泵mzr-7205以工业生产和工艺技术应用为HNPM高性能泵mzr-7205设计用于连续输送和离散剂量的水、水溶液、溶剂、甲醇、油、润滑剂、粘合剂、油墨和油漆以及其他高粘度液体。

HNPM高性能泵其他型号:

mzr-2505mzr-2905mzr-4605mzr-7205mzr-11508

 

 
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